Siin on peamine teave tarnijatele seoses kavandatava ostuga: # Ostuobjekt * Mida ostetakse: Elektronkiiraurustamise (e-beam) seade õhukeste kilede jaoks. * Peamised tehnilised nõuded: * Ühtne kõrgvaakumsüsteem (vaakumkamber, elektronkiiraurusti, pumpade süsteem, rõhu/paksuse mõõtesüsteemid, jahuti, juhtimisseadmed). * Tehnilised parameetrid: saavutatav rõhk < 2x10⁻⁷ mbar, elektronkiirallika võimsus ≥ 5 kW, 6 kohaga karussell, kvartskristall-tüüpi paksuse mõõtesüsteem. * Süsteemi eripärad: tagatud peab olema ühilduvus (süsteem ostetakse tervikuna), seade peab olema tootja juures integreeritult testitud. * Teenuse osutamise koht: Kaunase…
Täieliku kokkuvõtte nägemiseks logige sisse või registreeruge.
